研磨液

研磨液(Slurry)添加物的目的有氧化、活性介面作用、穩定劑及選擇性的加強；拋光液使用的基本條件有(1)穩定懸浮、(2)對溫度變化仍呈現穩定、(3)高純度減少不必要的離子或塵粒的清除、(4)良好的粒徑分佈控制、(5)拋光液製造時批與批間的穩定性、(6)精確的PH值、(7)製程參數如蝕刻率、均勻度等要能一致性及可預測等，因此使得表面更平滑和更平坦。